真空機械泵（Mechanical Vacuum Pump）是利用機械動力將氣體排放至外部，從而形成真空的一種泵。它主要是由驅(qū)動裝置、泵體、活塞等組成，其工作原理是通過不斷的吸收和排放氣體來降低被抽物質(zhì)所在系統(tǒng)的壓強，達到真空的效果。

真空機械泵通常包括如下幾個部分：

1. 驅(qū)動裝置：包括電機、帶輪、聯(lián)軸器等，是泵體工作的動力源。

2. 泵體：由葉輪、泵腔、進氣口、出氣口等組成，是真空泵的核心部件。

3. 活塞：和泵體內(nèi)的葉輪配合工作，通過活塞向外排放氣體，將壓力從系統(tǒng)中降低，從而形成真空。

真空機械泵的主要特點有：

1. 抽氣速度快：真空機械泵的抽氣速度通常很快，可以快速將系統(tǒng)內(nèi)的壓強降低到需要的真空度。

2. 真空度高：真空機械泵能夠達到比較高的真空度，通?？梢赃_到10-2 ~ 10-3 Pa左右。

3. 維護成本低：真空機械泵結(jié)構(gòu)簡單，維護成本相對較低。

4. 噪音?。合啾绕渌愋偷谋?，真空機械泵的噪音較小。

真空機械泵適用于各種真空設備中，如半導體制造、真空干燥、真空冷凍、真空蒸餾、真空熱處理等。與此同時，真空機械泵還可以和其他類型的泵組合使用，以提高其抽氣速度和真空度。

真空分子泵是一種用于實現(xiàn)高真空的泵，它采用無油抽程原理，通過氣體分子間的碰撞和擴散來達到高效排放氣體。它通常由壓縮區(qū)、冷阱和分子板等組成。

壓縮區(qū)位于真空分子泵的上部，內(nèi)部裝有旋轉(zhuǎn)葉片和離心式離子發(fā)生器等部件，用于增加氣體的動能。冷阱位于泵的中部，用于捕獲氣體中的水分和其他易凝結(jié)物質(zhì)，防止其對下游設備產(chǎn)生影響。分子板位于泵的下部，由多孔金屬板組成，可以過濾掉氣體中的分子，使其得到充分擴散，最終被排放出去。

真空分子泵通常包括如下幾個部分：

1. 壓縮區(qū)：位于泵的上部，其內(nèi)部附有旋轉(zhuǎn)葉片和離心式離子發(fā)生器等。

2. 冷阱：位于泵的中部，用于捕獲氣體中的水分和其他易凝結(jié)的物質(zhì)。

3. 分子板：位于泵的下部，由一系列多孔金屬板組成，可以有效過濾掉氣體中的分子，使其得到充分擴散，最終被排放出去。

真空分子泵的主要特點有：

1. 真空度高：真空分子泵能夠達到極高的真空度，通?？蛇_到10-9 ~ 10-11 Pa左右。

2. 抽氣速度快：真空分子泵的抽氣速度較快，通常高達幾千升/秒。

3. 無油化設計：真空分子泵采用無油抽程，操作和維護相對簡單，而且不會產(chǎn)生油蒸氣和油污染。

4. 低噪音：真空分子泵工作噪音小，不會對環(huán)境和操作者產(chǎn)生干擾。

真空分子泵適用于各種需要超高真空的領域，如半導體制造、光學器件制造、石油化工等。與此同時，真空分子泵還可以和其他類型的泵組合使用，以提高其抽氣速度和真空度。