真空管式爐（vacuum tube furnace）是一種高溫、無氧、低壓下的試驗(yàn)設(shè)備，通常用于加熱處理金屬、無機(jī)材料和其他復(fù)雜化合物。它由一個(gè)外形為圓柱型或方形的真空管組成，內(nèi)部配有電阻絲和隔熱材料，可以通過控制溫度和真空度來對(duì)樣品進(jìn)行熱處理、燒結(jié)和退火等工藝過程。

真空管式爐的特點(diǎn)：

1. 高溫范圍廣：真空管式爐可以達(dá)到1500℃以上的高溫，在加熱樣品時(shí)提供了充分的熱量。

2. 優(yōu)秀的真空性能：在加熱過程中，真空管式爐可以提供高度的真空度，避免了水分、氧氣等氣體對(duì)樣品的影響，使加熱過程更加純凈。

3. 精密的溫度控制系統(tǒng)：真空管式爐內(nèi)部配有先進(jìn)的溫度控制系統(tǒng)，可精確控制樣品的加熱和降溫過程，使得樣品熱處理更加精細(xì)和均勻。

4. 易于維護(hù)和清潔：真空管式爐的設(shè)計(jì)簡單、易于操作和清潔，維護(hù)和保養(yǎng)比較容易。

真空管式爐主要適用于精密燒結(jié)、退火、熱處理、晶體生長等領(lǐng)域。在電子材料研究、材料制備、實(shí)驗(yàn)室及生產(chǎn)線等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。

真空機(jī)械泵（Mechanical Vacuum Pump）是利用機(jī)械動(dòng)力將氣體排放至外部，從而形成真空的一種泵。它主要是由驅(qū)動(dòng)裝置、泵體、活塞等組成，其工作原理是通過不斷的吸收和排放氣體來降低被抽物質(zhì)所在系統(tǒng)的壓強(qiáng)，達(dá)到真空的效果。

真空分子泵（Molecular Vacuum Pump）是一種能夠?qū)崿F(xiàn)超高真空的泵。它基于氣體分子間的碰撞和擴(kuò)散運(yùn)動(dòng)原理，通過低壓力下的無油抽程，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體的高效率排放。