真空爐的安全使用是安全生產(chǎn)的重要組成部分,除了做實(shí)驗(yàn)以外,建議不要讓停留在高溫爐管附近。在使用時(shí)要注意以下事項(xiàng):
1、在實(shí)驗(yàn)工作完畢以后,要關(guān)特殊氣體,保留N2流動(dòng)即可。真空氣氛爐管要保持在standby溫度,并要仔細(xì)查看其它電源是否關(guān)閉,如果沒有就隨手關(guān)閉。
2、在使用管電爐時(shí)還要避免吸入從爐子或者是處理槽所冒出的各種氣體,以便發(fā)生中毒的情況。
3、在沒有使用到時(shí),要將爐子的長短推桿的前端朝上放置,以免污染。
4、在晶片進(jìn)出爐口承接boat的holder的時(shí)候,盡量不要碰觸管式爐的爐管口,以免爐管受到污染。
在試驗(yàn)過程中,請節(jié)約純水的使用,一旦發(fā)現(xiàn)安全隱患或者不正常的現(xiàn)象時(shí),要盡快通知有關(guān)技術(shù)人員,以防止事故的發(fā)生。
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